導讀：
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東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程
4.3 動態流導法
動態流導法有時也稱為動
態流量法和小孔法校準，建
立在氣流連續性原理、分子
流狀態和等溫條件基礎上的，
是動態校準，是目前超高真
空和極高真空的切實可行的
校準方法。真空測量與檢漏p＝qG/C+pb流量qG由流量計測量，流量范圍為10-7～10-3Pam3s-1，其測量精度可達±0.5％，壓力校準范圍是10-5~10-1Pa。雙級動態流導法校準可
以延伸校準下限至10-6Pa。
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4.4 標準壓縮式
真空計
在5×10-3～103
Pa壓力范圍內，是
可靠的壓力標準，
各國普遍將它確定
為國家真空計量的基準器具。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程對工作壓縮式真空計進行了結構和測量方法的改進而成：
?采用磨毛毛細管
?設置兩個無脂閥
?采用無定標法進行測量
?測量毛細管采用錐形封頂，引入壓縮后氣柱高度修正量真空測量與檢漏△2?考慮測量毛細管和比較毛細管之間的壓低值不同的壓低值修正量△1
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4.5 副標準真空計
所謂副標準真空計,實質上是一種高穩定、高精度的相對真空計,它經過一等真空標準器具校準之后,可作為二等真空標準器具,對一般工作真空計進行校準。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程之三
真空測量與檢漏
真空測量與檢漏主講人：劉玉岱東北大學
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏I 真空測量
1 真空測量概述2 全壓力測量3 分壓力測量
4 真空計校準真空測量與檢漏II 檢漏5 檢漏概述6 檢漏方法
7 檢漏儀
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程I 真空測量
1 真空測量概述1.1 什么是真空測量1.2 真空度的表征及單位真空測量與檢漏1.3 真空計分類1.4 真空計測量范圍1.5 真空測量特點1.6 選擇真空計原則
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1.1 什么是真空測量
真空測量與檢漏真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。真空度是用壓力來表示的。真空測量包括全壓力測量、分壓力測量和真空計校準。真空計是指探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器。大氣壓力為101325Pa。直接測量壓力是比較少的。測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現象，然后測量這個過程中與氣體壓力有關的某些物理量，再設法間接確定出真實壓力來。被測量氣體多為混合氣體，上述壓力測量是指混合氣體全壓力測量，等于其各組成成分的分壓力之和。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏現代分壓力真空計都屬于電離類。有時只需知曉被測系統殘余氣體成分和相對含量，并不要求測出分壓力值，所用儀器為殘余氣體分析儀。正確的壓力測量必須用標準真空計或能產生已知低壓的校準裝置對真空計進行校準。真空計量器具分三類：計量基準器具、計量標準器具和工作計量器具。前兩類用于復現和傳遞真空度量值，統一全國真空度量值；后一類是在現場應用。
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1.2 真空度的表征及單位
一般用壓力來表示真空度。
根據真空度定義，真空度最好用分子密度n表示，而以壓力表示真空度與此并不矛盾。氣體處于平衡態并滿足麥克斯威速度分布定律，即p＝nkT成立。當溫度T一定時，所以氣體壓力p正比于分子密度n，也就是說，壓力是分子密度的量度。
還可以用如下參數表示真空度：
粒子密度n、分子平均自由程λ、碰撞次數z、覆蓋時間τ。
單位：1Pa ＝1Nm-2
真空度百分數：
當壓力p>102 Pa時，δ＝（p0－p）/p0×100％
式中p0——標準大氣壓力，Pa。真空測量與檢漏
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1.3 真空計分類
按刻度方法分類：
絕對真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻
度）可通過自身幾何尺寸計算出來或
由測力確定。與氣體種類無關。
相對真空計：由一些與氣體壓力有函數關系的量來
確定壓力，不能通過簡單的計算進行
刻度，必須進行校準才能刻度。一般
由作為傳感器的真空計規管（或規頭）和用于控制、指示的測量器組成。讀數與氣體種類有關。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程按真空計測量原理分類：
靜態液位真空計
直接測量真空計
彈性元件真空計
真空測量與檢漏間接測量真空計壓縮式真空計熱傳導真空計熱輻射真空計電離真空計放電管指示器粘滯真空計場致顯微儀分壓力真空計
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1.4 真空計測量范圍
近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數量級（105～10-14Pa）。一些真空計的壓力測量范圍真空測量與檢漏
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1.5 真空測量特點
?測量壓力范圍寬，105～10－14Pa。?大部分真空計是間接測量。
?多采用非電量電測技術。
真空測量與檢漏?讀數與氣體種類和成分有關。?測量精度不高。
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1.6 選擇真空計原則
?精度。
?真空計和被測氣體相互影響。
真空測量與檢漏?能測全壓力嗎？?連續指示、電氣指示、反應時間。?穩定性、復現性、可靠性和壽命。?安裝、操作、保修、管理。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程2 全壓力測量2.1 U型管真空計2.2 彈性元件真空計2.3 壓縮式真空計2.4 熱傳導真空計2.5 熱陰極電離真空計
2.6 冷陰極電離真空計
2.7 電容式薄膜真空計
2.8 放射性電離真空計
2.9 磁懸浮轉子真空計真空測量與檢漏
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2.1 U型管真空計
測量范圍為105～10Pa，絕對真空計
A.開式U型管真空計
真空測量與檢漏p = p0－ρgh式中p——待測壓力p0 ——環境大氣壓力h——兩液面高度差ρ——工作液密度g——
重力加速度
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B.閉式U型管真空計
p = ρgh
式中p——待測壓力
真空測量與檢漏h——兩液面高度差ρ——工作液密度g——重力加速度
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2.2 彈性元件真空計
利用彈性元件在壓差作用下產生彈性變形的原理制成，一般用于粗真空（102～105Pa）的測量。真空測量與檢漏
彈性元件真空表結構示意圖
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程彈性元件真空表的特點
?測量結果是全壓力。
?測量過程中，儀表的吸氣和放氣很小。真空測量與檢漏?測量精度較高。?反應速度較快。?結構牢固。?是絕對真空計，0.5級以上的表可作為標準表。
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2.3 壓縮式真空計
U型管真空計的重大改進，依據
理想氣體的波義耳定律
p＝πd2ρgh1（h1－h2）/(4V)
式中d為測量毛細管的內徑。V和d為
真空計的已知數據，則：
真空測量與檢漏p＝Kh1（h1－h2）K ＝πd2ρg/(4V) = 1.05×105 · d2/V式中p——待測壓力，Pah1、h2——液面差，mK——真空計常數，Pam－2V——玻璃泡和測量毛細管總容
積，m3
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程三種刻度方法
?無定標刻度法
?平方刻度法
真空測量與檢漏h2＝0 則p＝Kh2?直線刻度法h1＝常數則p＝K·h1h ＝Klineh式中Kline 為直線刻度真空計常數，Pam－1
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程壓縮真空計的特點
?刻度與氣體種類無關（對永久氣體）。?測量范圍較寬、精度較高：工作計為102～真空測量與檢漏10-3Pa，一般相對誤差在10×10-2。?不能連續測量。?水銀蒸氣對人體有害。
2.4 熱傳導真空計根據低壓力下（λ>>d），氣體分子熱傳導與壓力有關的原理制成。
規管中的熱絲熱量散失Q=QL+Qr＋Qg令K1=QL+QrK2p＝Qg
有Q＝K1+K2p當K1<<K2p時，即QL+Qr<<Qg時，Q只與壓力p有關，熱絲溫度T1是壓力p的函數，即T1＝f（p）。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程熱絲溫度的測量方法
?利用熱絲隨溫度變化的線膨脹性質。
?利用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。?利用熱絲電阻隨溫度變化的性質。
不同氣體分子的導熱系數不同的影響：
實際壓力：preal＝Srpread
真空測量與檢漏式中pread——以干燥空氣（或氮氣）刻度的壓力計讀數，Papreal ——被測氣體的實際壓力，PaSr ——被測氣體對空氣的相對靈敏度
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2.5 熱陰極電離真空計
熱陰極電離真空計由測量規
管和電氣測量電路組成。規管
結構包括：燈絲F(陰極)、陽極
A(電子加速極)、離子收集極C。
真離子流Ii與壓力p可用下式
空表示：
測量Ii＝KIep
與式中Ie——發射電子流
檢K——規管系數，單位為
漏Pa-1
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程按壓力范圍的不同，熱陰極電離真空計分三類?普通型電離真空計（1×10-1～10-5Pa）?超高真空電離真空計（1×10-1～10-8Pa，有的下限為真空測量與檢漏10-10Pa ）?高壓力電離真空計（1×102～10-3Pa）
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程電離規管系數K與氣體種類有關，引入相對靈敏度Sr概念，Sr＝K/KN2
preal＝pread/S
r真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程用改變規管電極結構及各電極的電參數，用抗氧化材料制做陰極（如銥絲涂氧化釔），可提高線測量上限。制成高壓力電離真空計，壓力測量上限pmax可達100Pa以上，如DL-5規、DL-8規。真空測量與檢漏p= 10-4~102Pa
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程陽極受電子轟擊產生X射線，離子收集極接受后產生光電子發射，形成本底電流Ix。減少Ix以降低測量下限pmin的措施：
減少離子收集極被軟X射線照射的面積，如B－A型電離計。
在離子收集極附近，安置負電位的抑制極，如抑制電離規。
收集極電流中扣除本底光電流，如調制電離規。Ix對應的px與K成正比，提高K能夠降低pmin，如彈道規和熱陰極磁控管電離規。??真空測量與檢漏??
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏pmin＝10-8Pa
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏pmin=10-10Pa pmin=10-11Pa
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏pmin=10-10Pa pmin=10-11Pa pmin=10-11Pa
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2.6 冷陰極電離真空計
相對真空計，由規管和測量電路組成。靠冷發射少量初始自由電子。
I＝Kpn
式中I ——放電電流
K——常數
n——常數，一般在1～2，與規管結構有關真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程特點：
?測量范圍1～10-5Pa。
?沒有與壓力無關的本底光電流。
?限制其下限延伸是其場致發射。
?測量誤差較大。普通型冷陰極電離真空計的改進：磁控管式和倒置磁控管式規。pmin=10-11Pa
真空測量與檢漏
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2.7 電容式薄膜真空計
根據彈性薄膜在壓差
下產生應變而引起電容
變化的原理制成，由電
容式薄膜規管（又稱為
電容式壓力傳感器）和
測量儀器組成。儀器結
構有偏位法和零位法。
零位法具有較高的測量
精度。目前在計量部門
作為低真空副標準真空
計的就是采用零位法結
構。
雙電容式薄膜真空
計測量下限可達10-3Pa。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏單側雙電容薄膜真空計靈敏度高、氣體的介電常數不變、讀數不受氣體成分影響、反應速度快。規管參考室內加置消氣劑并抽至≤10-5Pa，就可測量≥10-3Pa的絕對壓力。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏
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2.8 放射性電離真空計
放射性同位素輻射α
粒子或β粒子對氣體分
子的電離作用制成的真
空計。
真空測量與檢漏Ii＝Sp式中Ii ——離子流p ——被測壓力S ——規管靈敏度測量范圍0.1～104Pa，讀數與氣體種類有關。
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2.9 磁懸浮轉子真空計
磁懸浮轉子轉速的衰減
與其周圍氣體分子的外摩
擦有關。
氣體分子摩擦的積分作
用引起鋼球自轉速度衰減，
其速度衰減與氣體壓力p有
著嚴格的對應關系。
該真空計量程寬（10-
1～10-5Pa），用它作互校
傳遞標準時，積累誤差小，可靠性重復性好。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程3 分壓力測量3.1 分壓力測量概述3.2 四極濾質器
3.3 射頻質譜計
3.4 識譜技術真空測量與檢漏
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3.1 分壓力測量概述
電離真空計是以空氣或氮氣校準的，所測得的壓力值為與混合氣體離子流總和相對應的等效空氣壓力或等效氮壓力。電離真空計對不同氣體的相對靈敏度相差很大，因此，電離真空計對混合氣體測得的等效氮壓力不是混合氣體的真實壓力。
分壓力真空計是專用的小型質譜儀器——真空質譜計。精度不夠高，未能進行定量測定，稱為殘余氣體分析器。
真空質譜計能掃描1～50u，以至1～300u的質量范圍，并能分辨相隔1u的相鄰離子。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程儀器的輸出，即各種離子的電流按其質量大小排列的譜線圖，又稱質譜圖。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程質譜計的主要性能參數如下：
?質量范圍。
?分辨能力和分辨本領。
?靈敏度。
真空測量與檢漏?最小可檢分壓力ppmin。?分壓比靈敏度γmin。?最高線性工作壓力。
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3.2 四極濾質器
又稱四極質譜計。
其質量分離原理是
基于不同質荷比的
離子在高頻和直流
四極場中，運動軌
跡穩定與否來實現
的。是無磁濾質器，
指標較高。
質量范圍為1～500u，
分辨本領100～500，靈敏度為10-5～10-6A·Pa-1，最小可檢分壓力為10-9～10-11Pa，分壓比靈敏度為20×10-6，最高工作壓力為10-1～10-2Pa。真空測量與檢漏
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3.3 射頻質譜計
G1加正電位，做電子收集極；
G5加正電位，以對向收集極運
動的離子形成拒斥場；在G3與
G2，G4間加一角頻率為ω的高
頻電壓。于是，G2、G3間的電
位差為
V23＝V0sin（ωt＋θ）
G3、G4間的電位差為
V34＝－V0sin（ωt＋θ）質量掃描由改變高頻電場的頻率來實現的。真空測量與檢漏
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3.4 識譜技術
離子流與分析器掃描參數的關系圖，即質譜圖。
A 質量數的標定
判斷出各個譜峰對應的質量數。常見的殘余氣體質量數M<50，這些氣體譜峰的位置和高度有一定的規律和特征。主要成分：2H+,4He+,16CH+,18HO+, 20Ne+,28CO+, 28N+,32O+,40Ar+和44CO+。242222據此可推斷出其它位置譜峰的質量數。高質量端，可以通過預先校核確定。真空測量與檢漏B 碎片圖型電子碰撞電離型離子源產生單荷離子和多荷離子、分子離子和碎片離子以及同位素離子。每種氣體有其獨有的碎片質荷比數值，而峰的幅值則和氣體及儀器的工作條件有關。這種分裂物圖型為氣體碎片圖型。每種氣體的獨有的碎片圖型是鑒定氣體存在的“指紋”。
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C 分壓力計算
具有獨特碎片圖型的單一氣體或蒸氣，或具有分離譜的幾種氣體和蒸氣的混合物的定量分析要比含有重疊峰的混合物的定量分析來得簡單。
⑴分離譜：
近似分析得粗糙的結果。由主峰離子流Ii與質譜計對N2的靈敏度SN2計算等效氮分壓力
ppe＝Ii/SN2
由離子流相對比例和全壓力p計算等效氮分壓力
ppe＝pIi/∑Ii （全壓力p為等效氮壓力）
⑵重疊譜：
質譜計將M/Z相同的譜峰疊加在一起形成重疊譜，質譜圖就顯得更為復雜。
碎片峰離子流與其主峰離子流的相對比值稱碎片峰的圖象系數。某種質譜計在恒定工作條件下，碎片峰的種類及其圖象系數是一定的。由質譜圖的圖象系數可以計算出待測氣體成分的分壓力值。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程4 真空計校準4.1 真空計校準概述4.2 靜態膨脹法4.3 動態流導法
4.4 標準壓縮式真空計
4.5 副標準真空計真空測量與檢漏
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4.1 真空計校準概述
“真空計校準”就是對相對真空計進行“刻度”。對相對真空計校準是非常必要的，要定期進行，否則會產生超過允許的測量誤差。
校準是對真空計整體而言，既包括所謂的一次儀表的真空規管，又包括所謂的二次儀表的電子線路。真空校準的前提是必須有標準真空計和校準系統，并通過一定方法進行。
真空標準有絕對真空計、標準相對真空計（或副標準真空計）和絕對校準系統。
在計量學中，所謂標準是按精度等級排列的一個體系。該檢定系統主要適用于10-8~105Pa.真空測量與檢漏
真空測量與檢漏
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4.2 靜態膨脹法
膨脹法校準是基于波義耳定律。
單級膨脹系統第一次膨脹后
真空測量與檢漏第n次碰撞后
校準高真空可用雙級膨脹。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程II 檢漏
5 檢漏概述5.1 檢漏的意義及其重要性5.2 漏氣判斷和漏孔表示法真空測量與檢漏5.3 漏孔氣流特性5.4 最大允許漏率的估算5.5 對檢漏方法的要求和選擇5.6 檢漏技術中的幾個概念
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5.1 檢漏的意義及其重要性
真空系統和真空容器的漏氣，是由各種各樣微小漏隙造成的。多發生在焊縫、可拆卸部位、材料缺陷處、金屬-玻璃封接、金屬-陶瓷封接處等。
漏氣是絕對的，而不漏氣則是相對的。通常所說的“不漏氣”，是指系統上存在的漏孔的漏率遠小于允許的漏率或檢漏儀的最高靈敏度而言。真空測量與檢漏
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檢漏的任務是：
?判斷漏氣是否為主要矛盾。
?確定漏率是否在允許的范圍內。真空測量與檢漏?找出漏孔的位置。
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5.2 漏氣判斷和漏孔表示法
真空系統，如果抽不
到預定的極限真空，原
因有三：
?泵工作不良
真空測量與檢漏?放氣?漏氣以靜態升壓法來找出哪種因素起主導作用。漏孔漏率定義：露點低于－25℃的空氣，入口壓力為標準大氣壓（105±103Pa），出口
壓力低于103Pa，溫度為23±3 ℃時，空氣通過漏孔的流量為漏孔漏率，單位為Pam3s-1。
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5.3 漏孔氣流特性
漏孔很微小，漏孔兩端的壓差很大，氣體通過漏孔的過程是很復雜的，包括粘滯流、過渡流和分子流三種流動狀態。
使問題簡化，并令漏孔長為1cm，經分析可得到如下結論：?當qL>10-6Pam3s-1時，此時主要是粘滯流
真空測量與檢漏?當qL<10-9Pam3s-1時，其流動主要是分子流?不同種類氣體通過漏孔漏率也不相同。粘滯流：qLHe/qLair＝η分子流：air/ηHe＝0.93───qLHe/qLair＝√Mair/MHe＝2.7
可見用氦氣檢漏時，只是對分子流漏孔才會有好處。
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5.4 最大允許漏率的估算最大允許漏率比總氣載低一個數量級
qLp＝0.1×qtot
不同真空系統允許漏率是不同的：
動態真空系統允許漏率
qLp＝0.1×pωmaxSe
式中pωmax——真空裝置最大工作壓力
Se ——泵對被抽容器的有效抽速
靜態真空系統（無消氣劑繼續抽氣）允許漏率
qLp＝0.1×V·（pωmax－pi）/τ
式中pi——剛封離時壓力
τ——器件壽命
V ——器件的體積真空測量與檢漏
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一些真空設備的允許漏率真空測量與檢漏
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5.5 對檢漏方法的要求及選擇?檢漏靈敏度高、反應時間短（3s以內）和穩定性好。?能定出漏孔的位置和漏率。
?示漏物質在空氣中含量低，不腐蝕零件，不堵塞漏孔。?檢漏范圍寬。
真空測量與檢漏?結構簡單、使用方便。?能無損檢漏。另外，必須選用檢漏靈敏度qLdmin比允許漏率qLp值低1～2個數量級（相當有10～100個漏孔）的方法。qLdmin≤（10-2~10-1）qLp
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5.6 檢漏技術中的幾個概念
?氣密性
?漏孔
?儀器靈敏度
?檢漏靈敏度
?反應時間
?清除時間
?信噪比
?虛漏真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程6 檢漏方法6.1 真空檢漏法真空測量與檢漏6.2 充壓檢漏法6.3 背壓檢漏法
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6.1 真空檢漏法
將被檢件與檢漏器（指檢漏器的傳感器）相連，并將被檢件抽真空，在被檢件外施加示漏物質。真空測量與檢漏
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6.2 充壓檢漏法
在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質，如有漏孔，示漏物質便通過漏孔漏出，在被檢件外部用某種檢漏方法或檢漏器進行檢測。
遵守如下幾個原則：
?先將被檢件抽空后再充
真空測量與檢漏入示漏氣體。?盡量減少盲管的數量或縮短盲管長度。?合理選擇充氣位置。?必須注意安全。
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6.3 背壓檢漏法
是充壓檢漏和真空檢漏相結合的檢漏方法。包括三個步驟：
?充壓
真空測量與檢漏?凈化?檢漏
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各種檢漏方法比較表真空測量與檢漏
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接上表真空測量與檢漏
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接上表真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程7 檢漏儀7.1 氦質譜檢漏儀真空測量與檢漏7.2 高頻火花檢漏儀7.3 鹵素檢漏儀
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7.1 氦質譜檢漏儀
氦氣做示漏氣體的專門用于檢漏的質譜分析器叫做氦質譜檢漏儀。靈敏度為10-9~10-15Pam3s-1。
逆流型氦質譜檢漏儀，被檢件置于主抽泵的前級，靈敏度可達10-12Pam3s-1。真空測量與檢漏
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─────R=√(2mU/(Ze)) /B
式中e——基本電荷量（1.6×10-19C）；
m——離子質量（1.66×10-27·Mkg，M為離子
的質量數）；
U——離子加速電壓，V；
B——磁感應強度，T；
R——離子軌道半徑，m；
Z——離子所帶基本電荷數。真空測量與檢漏───-4R= 1.44×10√MU/Z /B式中M/Z ——離子的荷質比，即離子的質量數與電荷數之比。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程單級磁偏轉型氦質譜儀可采用60°或90°偏轉真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程雙級串聯磁偏轉型檢漏儀
單級磁偏轉型靈敏度為10-9~10-12Pam3s-1
雙級串聯磁偏轉型靈敏度可達10-14~10-15Pam3s-1真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程逆流氦質譜檢漏儀
質譜室位于主泵的入口一側，
被檢件位于主泵的前級真空一側，
漏入被檢件的示漏氣體在主泵中
逆流進入質譜室。
真空測量與檢漏擴散泵為主泵，多級擴散泵的壓縮比對于氦氣可以達到102；對于空氣中其它成分為104～106。渦輪分子泵對輕質量氣體壓縮比小，也用作逆流檢漏儀的主泵，靈敏度可達到10-8~10-12Pam3s-1。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程在檢漏儀處于最佳工作條件下，以一個標準大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時，所能檢出的最小漏孔的漏率稱為氦質譜檢漏儀的漏率靈敏度，或稱最小可檢漏率。
真空測量與檢漏在檢漏儀質譜室處于工作壓力下，儀器可檢出的氦分壓比的最小變化量稱為分壓比靈敏度，亦稱為最小可檢分壓比，記作γmin。（也稱濃度靈敏度或最小可檢濃度）靈敏度的校準應用“標準漏孔”在校準系統上進行。多用玻璃-鉑絲型和帶氦室的石英薄膜滲氦型標準漏孔。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程質譜檢漏儀用氦為示漏氣體原因
（1）氦在空氣中及殘余氣體中含量最少。
（2）氦質量輕，易于穿過漏孔，擴散也快，檢漏靈敏度高。
（3）氦是惰性氣體，不污染環境。
（4）氦離子的質荷比利于離子分離。
（M/Z)He+＝4
（M/Z)H+＝2
（M/Z)C++＝62真空測量
與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程
7.2 高頻火花檢漏儀
小功率、高頻、高壓塔式線圈，利用其尖端產生的高頻火花搜尋漏孔。主要用于檢漏玻璃系統或器件，亦可用于檢漏金屬系統。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程檢漏方法：
A 火花法
B 放電法各種氣體或蒸氣的輝光顏色真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程注意事項：
?在檢漏前，應將玻璃表面或內壁粘附（或夾雜）真空測量與檢漏的金屬粉屑等清除干凈。?在檢漏過程中，要適當調節火花束，不要過強；在搜尋漏孔時，不可在一處停留時間過長。?不可將放電尖端移到易燃燒物質附近，以免引起火災。?避免人體觸及放電尖端。?在用高頻火花檢漏儀檢漏時，要考慮放電火花對真空測量的影響。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程用火花檢漏儀估計真空度
根據氣體放電顏色不同估計真空度，如表所示：真空測量與檢漏空氣輝光放電顏色和壓力的關系
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程
7.3 鹵素檢漏儀
當鉑被加熱至800℃以上時，其表面就有正離子發射，特別是遇到鹵素氣體后，正離子流Ii急劇增大，這就是所謂的“鹵素效應”。鹵素檢漏儀就是基于鹵素效應制成的。真空測量與檢漏
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程固定式：由檢漏管、噴槍和測量線路等三部分組成。移動式：由探槍和測量線路兩部分組成。檢漏方法
真空測量與檢漏?真空法?加壓法
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程注意事項
?對被檢件需進行清潔、干燥處理，疏通漏孔?用氟利昂作示漏氣體時，因其比空氣重，所以要先檢真空測量與檢漏????下部后檢上部；先從檢漏管附近檢，逐漸由近至遠。噴吹示漏氣體的時間不要過長，嚴禁蒸氣進入檢漏管，以防檢漏管中毒。噴槍的移動速度要適當，一般應小于3cm·s-1。檢漏現場要通風良好，以防鹵素污染環境。檢漏現場嚴禁吸煙，以防香煙中含有的鹵素氣體影響檢漏的可靠性。
東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程真空測量與檢漏謝謝大家
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